образование рисунка с элементами уменьшенных размеров

mikroskopinio paveikslo sudarymas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. fine-pattern formation vok. Mikrostrukturerzeugung, f rus. образование микрорисунка, n; образование рисунка с элементами уменьшенных размеров, n pranc. définition des microstructures, f; formation des microstructures, f